潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，無塵廠房選擇應(yīng)該考慮人的舒服感。隨著空氣凈化要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，無塵凈化車間需要達(dá)到一定的溫濕度等級。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以需要有土0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在準(zhǔn)確裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。

然而對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:

1.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。

3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。